實驗室凈化工程的原理和作用
實驗室凈化工程的原理和作用:控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
實驗室凈化工程分類:
一、凈化工程亂流式
優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。